Microsystems rethough / Sebastian Bengsch in PLASTICS INSIGHTS, Vol. 114, N° 4/2024 (2024)  

[article]  inPLASTICS INSIGHTS > Vol. 114, N° 4/2024 (2024) . - p. 32-34 Titre : Microsystems rethough : A simplified way to functionalize, individualize and integrate MEMS Type de document : texte imprimé Auteurs : Sebastian Bengsch, Auteur Année de publication : 2024 Article en page(s) : p. 32-34 Langues : Anglais (eng) Catégories : Matières plastiques -- Moulage par injection Microélectronique Microtechniques Polyéther éther cétone Technologie médicale Texturation par laser Index. décimale : 668.4 Plastiques, vinyles Résumé : Substrates for microelectromechanical systems (MEMS) are usually made of silicon, ceramic or glass. However, with the Ensinger Microsystems Technology (EMST), the tiny helpers can be produced much easier. Lithography in the cleanroom becomes obsolete. Instead, extremely fine structures are implemented during injection molding of the polymer wafer and metallically functionalized. This allows for meeting individual requirements – also in terms of system integration. Note de contenu : - Multi-talented PEEK - Metallizable and biocompatible - EMST instead of lithography - Small structures, great freedom - Individualized sensors for medical technology - Compact design En ligne : https://drive.google.com/file/d/1lINpH6Cprjyy1423qEsM9ZPMwa5_DEwx/view?usp=drive [...] Format de la ressource électronique : Pdf Permalink : https://e-campus.itech.fr/pmb/opac_css/index.php?lvl=notice_display&id=41258 [article]

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