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Structural and mechanical investigations of magnetron sputtering TiO2/Ti/TiN multilayer films on Si(100) substrate / Adele Carradò in JOURNAL OF COATINGS TECHNOLOGY AND RESEARCH, Vol. 7, N° 6 (11/2010)

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inJOURNAL OF COATINGS TECHNOLOGY AND RESEARCH > Vol. 7, N° 6 (11/2010) . - p. 821-829

Titre :	Structural and mechanical investigations of magnetron sputtering TiO2/Ti/TiN multilayer films on Si(100) substrate
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	Adele Carradò, Auteur ; Guy Schmerber, Auteur ; Hervè Pelletier, Auteur
Année de publication :	2010
Article en page(s) :	p. 821-829
Note générale :	Bibliogr.
Langues :	Américain (ame)
Catégories :	Composites à matrice métallique Couches minces multicouches Indentation des matériaux Magnétron Microscopie électronique à balayage Nanotechnologie Pulvérisation cathodique Revêtement métallique
Index. décimale :	667.9 Revêtements et enduits
Résumé :	TiO2/Ti/TiN multicompositional coating was prepared by DC reactive magnetron sputtering (MS) at a temperature of 150°C using a combination of a Ti metal target and a pure Ar, an Ar–O2 mixture, or an Ar–N2 mixture discharge gas, onto a Silicon(100) substrate. This system represents nano-structured multilayer substrate model for biomedical application as well as substrate models to reproduce the bulk titanium surface. This substrate model (Ti/TiN/Si(100)) makes possible and easy mechanical and microscopic characterization in particular for transmission electron microscopy after biocompatible test. The model multilayer TiO2/Ti/TiN/(100) was obtained after preparation of two intermediate samples: TiN/Si(100) and Ti/TiN/Si(100). Structural (X-ray diffraction), morphological (scanning electron and atomic force microscopy) as well as mechanical (hardness and elastic modulus) studies of the MS films were performed.
DOI :	10.1007/s11998-010-9287-9
En ligne :	https://link.springer.com/content/pdf/10.1007%2Fs11998-010-9287-9.pdf
Format de la ressource électronique :	Pdf
Permalink :	https://e-campus.itech.fr/pmb/opac_css/index.php?lvl=notice_display&id=10411

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