| Titre : |
Propriétés colorimétriques de couches minces d'oxynitrures de titane élaborées par pulvérisation cathodique réactive p. 31 |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
J. M. Chappé, Auteur ; N. Martin, Auteur ; J. Lintymer, Auteur ; J. Gavoille, Auteur ; J. Takadoum, Auteur ; F. Sthal, Auteur |
| Année de publication : |
2006 |
| Article en page(s) : |
p. 31-37 |
| Note générale : |
Bibliogr. |
| Langues : |
Français (fre) |
| Catégories : |
Colorimétrie
Couches minces
Oxynitrure de titane
Pulvérisation cathodique
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| Index. décimale : |
667.9 Revêtements et enduits |
| Résumé : |
Des couches minces d'oxynitrures de titane ont été déposées par pulvérisation cathodique réactive à l'aide d'une cible de titane, d'argon comme gaz neutre et d'azote comme gaz réactif. Deux méthodes ont été employées pour l'apport d'oxygène comme autre gaz réactif dans le procédé : l'utilisation de vapeur d'eau et le contrôle par débit pulsé d'oxygène. L'étude de la variation des couleurs, dans l'espace CIEL*a*b*, des dépôts élaborés sur substrat de verre a été menée pour les deux méthodes d'élaboration. Il est apparu un comportement similaire de la luminosité pour les deux séries de dépôts. En effet, celle-ci reste constante pour les faibles quantités d'oxygène dans les couches puis augmente plus ou moins brusquement jusqu'à atteindre une valeur seuil de 85 environ pour les couches de type oxyde. Les couples de coordonnées (a*, b*) suivent une tendance continue seulement dans le cas des couches réalisées par pulses d'oxygène. Ces propriétés colorimétriques seront comparées à la composition chimique et à la structure cristallographique des films. |
| DOI : |
http://dx.doi.org/10.1051/mattech:2006022 |
| En ligne : |
http://www.mattech-journal.org/articles/mattech/pdf/2006/01/mt06036.pdf |
| Format de la ressource électronique : |
Pdf |
| Permalink : |
https://e-campus.itech.fr/pmb/opac_css/index.php?lvl=notice_display&id=9705 |
in MATERIAUX & TECHNIQUES > Vol. 94, N° 1 (2006) . - p. 31-37
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Propriétés colorimétriques de couches minces d'oxynitrures de titane élaborées par pulvérisation cathodique réactive p. 31 in MATERIAUX & TECHNIQUES, Vol. 94, N° 1 (2006)
