Plasmas réactifs / André Ricard / Paris : Société Française du Vide (1995)

Titre : Plasmas réactifs Type de document : texte imprimé Auteurs : André Ricard, Auteur Editeur : Paris : Société Française du Vide Année de publication : 1995 Importance : 156 p. Présentation : ill. Format : 24 cm ISBN/ISSN/EAN : 1266-0167 Langues : Français (fre) Catégories : Milieux ionisés Plasmas (gaz ionisés) Traîtements de surface Index. décimale : 530.44 Plasmas Résumé : CARACTERISTIQUES DES PLASMAS-DECHARGES : Grandeurs caractéristiques d'un plasma - Décharges électriques / MILIEUX IONISES ACTIFS : Excitation par collision électroniques - Destruction des états excités - Bilan en régime pseudo-stationnaire - Etats excités de l'argon - Etats excités de l'azote - Etats excités de l'oxygène - Etats excités de l'hydrogène / MILIEUX IONISES REACTIFS : Transferts ionisants - Transferts non ionisants - Espèces actives dans les mélanges de gaz moléculaires / TECHNIQUES DE MESURES DANS LES PLASMAS : Spectroscopie optique - Spectroscopie laser - Actinométrie - Chimiluminescence - Spectrométrie de masse / EXEMPLES D'APPLICATIONS AUX TRAITEMENTS DE SURFACES : Plasmas pour le traitement des polymères - Plasmas pour la gravure ou le dépôt des semi-conducteurs - Plasmas pour la cémentation des surfaces métalliques - Plasmas pour le dépôt de nitrures de titane - Plasmas pour le dépôt de diamants. Permalink : https://e-campus.itech.fr/pmb/opac_css/index.php?lvl=notice_display&id=659

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Code-barres	Cote	Support	Localisation	Section	Disponibilité
1460	530.44 RIC	Monographie	Bibliothèque principale	Documentaires	Disponible

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