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Plasmas réactifs / André Ricard / Paris : Société Française du Vide (1995)

Titre :	Plasmas réactifs
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	André Ricard, Auteur
Editeur :	Paris : Société Française du Vide
Année de publication :	1995
Importance :	156 p.
Présentation :	ill.
Format :	24 cm
ISBN/ISSN/EAN :	1266-0167
Langues :	Français (fre)
Catégories :	Milieux ionisés Plasmas (gaz ionisés) Traîtements de surface
Index. décimale :	530.44 Plasmas
Résumé :	CARACTERISTIQUES DES PLASMAS-DECHARGES : Grandeurs caractéristiques d'un plasma - Décharges électriques / MILIEUX IONISES ACTIFS : Excitation par collision électroniques - Destruction des états excités - Bilan en régime pseudo-stationnaire - Etats excités de l'argon - Etats excités de l'azote - Etats excités de l'oxygène - Etats excités de l'hydrogène / MILIEUX IONISES REACTIFS : Transferts ionisants - Transferts non ionisants - Espèces actives dans les mélanges de gaz moléculaires / TECHNIQUES DE MESURES DANS LES PLASMAS : Spectroscopie optique - Spectroscopie laser - Actinométrie - Chimiluminescence - Spectrométrie de masse / EXEMPLES D'APPLICATIONS AUX TRAITEMENTS DE SURFACES : Plasmas pour le traitement des polymères - Plasmas pour la gravure ou le dépôt des semi-conducteurs - Plasmas pour la cémentation des surfaces métalliques - Plasmas pour le dépôt de nitrures de titane - Plasmas pour le dépôt de diamants.
Permalink :	https://e-campus.itech.fr/pmb/opac_css/index.php?lvl=notice_display&id=659

Code-barres	Cote	Support	Localisation	Section	Disponibilité
1460	530.44 RIC	Monographie	Bibliothèque principale	Documentaires	Disponible