| Titre : |
Détermination de la dureté de films à nano domaine sur substrat flexible pour l'optimisationde son interconnexion avec une puce |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Olivier Baudino, Auteur ; Mohamed Saadaoui, Auteur ; Damien Presle, Auteur ; Brice Arrazat, Auteur ; Béatrice Dubois, Auteur ; Karim Inal, Auteur |
| Année de publication : |
2016 |
| Article en page(s) : |
9 p. |
| Note générale : |
Bibliogr. |
| Langues : |
Français (fre) |
| Catégories : |
Argent
Couches minces -- Propriétés mécaniques
Dureté (matériaux)
Encre d'imprimerie
Impression jet d'encre
Nanoindentation
Nanoparticules
Nanostructures
Résistance électrique
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| Index. décimale : |
620.11 Matériaux (propriétés, résistance) |
| Résumé : |
Ce travail est issu d’une problématique d’interconnexion électrique d’une puce en silicium sur des films minces imprimés par jet d’encre. L’impression est réalisée en utilisant une encre à base de nanoparticules d’argent de 20 nm de diamètre moyen. Après l’impression, une étape de recuit est nécessaire pour éliminer les solvants et fritter les nanoparticules. Deux types de recuit sont étudiés et les films obtenus sont caractérisés en terme de propriétés mécaniques (dureté et contact mécanique) et électriques (résistance de contact et résistivité électrique). Ces recuits sont réalisés soit dans une étuve conventionnelle soit à travers l’utilisation d’une lumière pulsée ultra-courte. L’épaisseur du film obtenu est de l’ordre de 700 nm. En fonction des conditions de recuit, la dureté des films poreux obtenus par nano-indentation varie entre 0,6 et 0,9 GPa en fonction de la nanostructure. Cette dureté reste inférieure à celle des films obtenus par évaporation sous vide qui est de 1,6 GPa (1 μm d’épaisseur). La caractérisation de la résistance électrique de contact est réalisée in-situ pendant le cycle de nano-indentation. Les valeurs obtenues, entre 150 et 300 mΩ, sont dépendantes du type de recuit utilisé, et montrent l’effet des propriétés mécaniques des films pendant les premières phases de chargement (F< 50 mN). Cette étude sert à optimiser les étapes technologiques de réalisation de dispositifs flexibles par électronique imprimée (étiquette intelligente RFID, capteur autonome, etc.). |
| Note de contenu : |
- CARACTERISATION DE FILM IMPRIME POUR LE REPORT DE PUCE : Nano-domaine et procédés de fonctionnalisation de dispositif imprimé - Caractérisation des films imprimés
- RESULTATS ET DISCUSSION : Microstructures des films imprimés - Détermination de la dureté - Détermination de la résistance électrique de contact |
| Référence de l'article : |
609 |
| DOI : |
http://dx.doi.org/10.1051/mattech/2015053 |
| En ligne : |
http://www.mattech-journal.org/articles/mattech/pdf/2015/06/mt150063.pdf |
| Format de la ressource électronique : |
Pdf |
| Permalink : |
https://e-campus.itech.fr/pmb/opac_css/index.php?lvl=notice_display&id=25257 |
in MATERIAUX & TECHNIQUES > Vol. 103, N° 6 (2015) . - 9 p.
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Détermination de la dureté de films à nano domaine sur substrat flexible pour l'optimisationde son interconnexion avec une puce in MATERIAUX & TECHNIQUES, Vol. 103, N° 6 (2015)
