Microstructure, mechanical properties, and high-temperature oxidation resistance of AlN/SiO2 nanomultilayer coatings / Ming Kong in JOURNAL OF COATINGS TECHNOLOGY AND RESEARCH, Vol. 9, N° 2 (03/2012)  

[article]  inJOURNAL OF COATINGS TECHNOLOGY AND RESEARCH > Vol. 9, N° 2 (03/2012) . - p. 177-182 Titre : Microstructure, mechanical properties, and high-temperature oxidation resistance of AlN/SiO2 nanomultilayer coatings Type de document : texte imprimé Auteurs : Ming Kong, Auteur ; Wenji Zhao, Auteur ; Ying Wu, Auteur ; Bilong Huang, Auteur ; Geyang Li, Auteur Année de publication : 2012 Article en page(s) : p. 177-182 Note générale : Bibliogr. Langues : Américain (ame) Catégories : Anticorrosion Dureté (matériaux) Epitaxie Nanotechnologie Nitrure d'aluminium Le nitrure d'aluminium (symbole chimique : AlN) est un semi-conducteur III-V à large bande interdite (6,2 eV). C'est un matériau réfractaire et céramique qui offre la rare caractéristique d'associer à l'isolation électrique à une très grande conductivité thermique à température ambiante (allant de 25 à 319 W.m-1 .K-1 suivant sa microstructure et sa forme (monocristal), film mince, nanofil...). Il présente, de plus, une grande résistance à l'oxydation et à l'abrasion. Enfin, ce matériau présente des propriétés piézoélectriques intéressantes : un coefficient piézoélectrique d33 compris entre 3.48 et 5pm.V-19 et un coefficient de couplage électromécanique voisin de 7%. Le nitrure d'aluminium se rencontre sous deux structures cristallographiques : - l'une, hexagonale, est thermodynamiquement stable ; elle est de type wurtzite ; - la seconde, cubique est métastable ; elle est de type zinc-blende. Le nitrure d'aluminium trouve des applications potentielles en optoélectronique dans le domaine des ultraviolets, comme substrat pour des croissances épitaxiales et en électronique de puissance pour la fabrication de transistors hyperfréquence de puissance. Actuellement, de nombreuses recherches sont menées pour produire des diodes électroluminescentes (LEDs) à émission UV utilisant du nitrure d'aluminium-gallium. En 2006, des chercheurs du laboratoire "Nippon Telegraph and Telephone" (NTT) au Japon ont rapporté la fabrication de diodes à base de nitrure d'aluminium atteignant des longueurs d'onde de l'ordre de 210 nm. La recherche se poursuit encore autour de ce matériau pour diminuer la longueur d'onde d'émission des LEDs notamment par l'introduction d'AlN sous la forme de nanofils. Le nitrure d'aluminium est aussi utilisé pour ces propriétés piézoélectriques. En effet, du fait de son module d'Young particulièrement élevé, il présente de hautes vitesses d'ondes acoustiques de l'ordre de 10 400 m/s. Cette caractéristique en fait un matériau de choix pour les filtres à onde acoustique de surface de type SAW (pour Surface Acoustic Wave) et les dispositifs à ondes acoustiques de volume de type FBAR (pour Film Bulk Acoustic Wave Resonator). La synthèse peut se faire par nitruration directe de l'aluminium, ou par réduction de l'alumine en présence d'azote gazeux ou d'ammoniac. Revêtements multicouches Index. décimale : 667.9 Revêtements et enduits Résumé : The microstructure, mechanical properties, and high-temperature oxidation resistance of AlN/SiO2 nanomultilayer coatings with various SiO2 layer thicknesses were investigated using X-ray diffractometry, high-resolution transmission electron microscopy, scanning electron microscopy, and nanoindentation. The results revealed that SiO2 formed wurtzite-typed hexagonal pseudo-crystal structures and grew epitaxially with AlN when its thickness was less than 0.6 nm. Meanwhile, the multilayer coatings yielded superhardness effect with a maximum hardness of 29.0 GPa. A minute increase in SiO2 thickness from 0.6 to 0.9 nm would decrease the hardness of the nanomultilayer coatings due to the formation of amorphous SiO2 and destruction of epitaxial structure. The high hardness of superhard coatings was sustained after high-temperature annealing treatment of up to 800°C. However, a further increase in annealing temperature to 900°C caused severe oxidation of AlN and thus degradation of coating’s hardness. Note de contenu : - Microstructure of nanomultilayer coatings - Superhardness effect of nanomultilayer coatings - High-temperature oxidation resistance of nanomultilayer coatings DOI : 10.1007/s11998-009-9228-7 En ligne : https://link.springer.com/content/pdf/10.1007/s11998-009-9228-7.pdf?pdf=button Format de la ressource électronique : Pdf Permalink : https://e-campus.itech.fr/pmb/opac_css/index.php?lvl=notice_display&id=14369 [article]

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