[article]
| Titre : |
Matériaux pour la nanofabrication photoinduite |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Ali Dirani, Auteur ; Hassan Ridaoui, Auteur ; Fernand Wieder, Auteur ; Renaud Bachelot, Auteur ; Olivier Soppera, Auteur |
| Année de publication : |
2010 |
| Article en page(s) : |
p. 41-46 |
| Note générale : |
Bibliogr. |
| Langues : |
Français (fre) |
| Catégories : |
Assemblages (technologie)
Lithographie
Nanofabrication
Nanotechnologie
Photopolymères
Sol-gel, Procédé
|
| Index. décimale : |
502.8 Techniques, procédés, appareils, équipement, matériaux |
| Résumé : |
Le développement de techniques et de matériaux pour la nanofabrication constitue un secteur hautement stratégique dans le domaine de la microélectronique, de la photonique et de façon générale, dans le domaine des nanotechnologies et des nanosciences. Cet article présente trois techniques de nanofabrication récemment développées dans notre équipe : des nanostructures inorganiques préparées par interférométrie DUV, la nanophotopolymérisation en champ proche optique, et la nanofabrication par approches bottom-up et top-down combinées. À travers ces trois exemples, il s'agit d'illustrer les enjeux dans le domaine de la nanofabrication qui concernent à la fois le développement de matériaux nouveaux ainsi que la mise au point de procédés innovants adaptés permettant de répondre aux besoins constants de miniaturisation des systèmes. |
| En ligne : |
https://new.societechimiquedefrance.fr/numero/materiaux-pour-la-nanofabrication- [...] |
| Format de la ressource électronique : |
Pdf |
| Permalink : |
https://e-campus.itech.fr/pmb/opac_css/index.php?lvl=notice_display&id=10539 |
in L'ACTUALITE CHIMIQUE > N° 347 (12/2010) . - p. 41-46
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