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Précuseurs "métalloorganiques" et dépôt chimique à partir d'une phase gazeuse / Lydie Valade in L'ACTUALITE CHIMIQUE, N° 2 (02/1999)
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Titre : Précuseurs "métalloorganiques" et dépôt chimique à partir d'une phase gazeuse Type de document : texte imprimé Auteurs : Lydie Valade, Auteur ; Francis Teyssandier, Auteur Année de publication : 1999 Article en page(s) : p. 14-21 Note générale : Bibliogr. Langues : Français (fre) Catégories : composés de coordination
Composés métalloorganiques -- Précurseurs
Couches minces
Dépôt chimique en phase vapeurIndex. décimale : 540 Chimie et sciences connexes Résumé : Chemical vapor deposited thin films can be prepared by using metal-organic precursors, specifically designed to undergo decomposition at lower temperatures than conventional precursors. The chemical and process related concepts used for the design of the molecules, and the behavior of these molecules in terms of reactivity both in the gas phase and at the surface of the parts to be coated are illustrated by means of various examples. En ligne : https://new.societechimiquedefrance.fr/numero/precurseurs-metallorganiques-et-de [...] Format de la ressource électronique : Permalink : https://e-campus.itech.fr/pmb/opac_css/index.php?lvl=notice_display&id=7822
in L'ACTUALITE CHIMIQUE > N° 2 (02/1999) . - p. 14-21[article]Réservation
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